一种pecvd尾气处理装置
技术领域
1.本实用新型属于尾气处理技术领域，尤其涉及一种pecvd尾气处理装置。
背景技术：
2.半导体行业通常采用等离子体增强化学气相沉积法制造减反射膜(例如氮化硅膜)，等离子体增强化学气相沉积法简称为pecvd，其利用强电场，使所需的气体源分子电离产生等离子体，等离子体中含有很多活性很高的化学基团，这些基团经过经一系列化学反应，在硅片表面形成固态薄膜。
3.目前沉积sin常采用的气体有sih4、nh3和nf3等气体，经过沉积膜后，会产生大量尾气。尾气处理时，先将尾气通入加热腔内进行燃烧，燃烧后产生大量颗粒和hf等，再通过喷淋将粉尘溶解在水里，并通过水泵抽走、而hf等气体则通过管道排入厂务端。
4.但尾气燃烧产生的大量颗粒难以溶解在水里，水泵抽出时，容易堵塞管道，而且管道中的hf和水蒸气吸附在管道上时，会腐蚀管道，影响管道使用寿命。
技术实现要素：
5.有鉴于此，本实用新型的目的是提供一种pecvd尾气处理装置，解决现有技术尾气燃烧产生的大量颗粒难以溶解在水里，水泵抽出时，容易堵塞管道，而且管道中的hf和水蒸气吸附在管道上时，会腐蚀管道，影响管道使用寿命的问题。
6.本实用新型通过以下技术手段解决上述技术问题：
7.一种pecvd尾气处理装置，包括加热腔、喷淋组件和水泵，所述加热腔内设置有电子加热棒，所述加热腔一端设置有进气管道，另一端设置有出气管道，所述出气管道的末端设置有u型管道，所述出气管道与u型管道之间安装有粉碎机，所述u型管道的一端与粉碎机连通，另一端连接有喷淋管道，所述喷淋管道的末端设置有反应组件，所述反应组件包括反应腔、输入管道和输出管道，所述输入管道和输出管道均与反应腔连通，所述反应腔内装填有一水合氨，所述输入管道的自由端与喷淋管道连通，所述u型管道底部设有连接管，所述水泵的进水口与连接管连通。
8.进一步，所述喷淋组件包括管体、第一喷淋件、第二喷淋件和第三喷淋件，第一喷淋件、第二喷淋件和第三喷淋件三者结构相同，第一喷淋件包括水管和喷头，所述第一喷淋件的喷头位于出气管道内，所述第二喷淋件和第三喷淋件的喷头位于喷淋管道内。
9.进一步，所述反应腔内设置有ph
检测仪。
10.进一步，所述输出管道处设置有过滤箱，所述过滤箱上连通有排气管。
11.进一步，所述粉碎机的上下两端均设有水封接头，所述水封接头上连接有导管，所述导管与管体连通。
12.进一步，所述加热腔上设置有自然吸气阀，所述自然吸气阀上设有过滤网。
13.本实用新型的有益效果：
14.1、本实用新型的一种pecvd尾气处理装置，通过在加热腔底部的输出管道上安装
粉碎机，加热腔内的尾气加热燃烧后产生的大量颗粒，跟随第一喷淋件的喷淋水进入到粉碎机内粉碎，有效防止颗粒堵塞管道。
15.2、通过在喷淋管道的末端安装反应组件，反应组件将气体中的hf气体吸收，避免hf气体腐蚀管道，并通过过滤箱将气体中携带的水汽、粉尘等，避免水汽、粉尘等进入后续的管道中。
附图说明
16.图1是本实用新型一种pecvd尾气处理装置的结构示意图。
17.其中，加热腔1，进气管道11，出气管道12，电子加热棒13，自然吸气阀14，过滤网141，水泵2，u型管道3，连接管31，粉碎机4，水封接头41，导管411，喷淋管道5，反应腔61，ph检测仪611，输入管道62，输出管道63，第一喷淋件71，水管711，喷头712，第二喷淋件72，第三喷淋件73，管体74，过滤箱8，排气管81。
具体实施方式
18.以下将结合附图和具体实施例对本实用新型进行详细说明：
19.如图1所示，本实用新型的一种pecvd尾气处理装置，包括加热腔1、喷淋组件和水泵2，加热腔1内设置有电子加热棒13，通过电子加热棒13将加热腔1内的气体加热至650-900℃，使加热腔1内的气体燃烧。加热腔1一端连通有进气管道11，另一端连通有出气管道12，使用时，pecvd尾气通过进气管道11进入到加热腔1中，在加热腔1中燃烧后，大量颗粒、hf气体等从出气管道12排出加热腔1。出气管道12的末端设置有u型管道3，出气管道12与u型管道3之间安装有粉碎机4，大量颗粒、hf气体等从出气管道12排出加热腔1后，进入到粉碎机4内，粉碎机4将颗粒粉碎后，通入u型管道3内，有效防止颗粒堵塞管道。
20.u型管道3底部连通连接管31，水泵2的进水口与连接管31连通。u型管道3的一端与粉碎机4连通，另一端连接有喷淋管道5，hf气体等通过u型管道3进入到喷淋管道5中进行喷淋，进一步将hf气体等裹挟的粉尘分离出，并跟随喷淋水一并通过水泵2排出。喷淋管道5的末端设置有反应组件，反应组件包括反应腔61、输入管道62和输出管道63，输入管道62和输出管道63均与反应腔61连通，反应腔61内装填有一水合氨液体，输入管道62的自由端与喷淋管道5连通，u型管道3内的hf气体等通过输入管道62进入反应腔61内，使hf气体与一水合氨液体发生反应，将hf气体吸收，避免hf气体腐蚀管道。反应腔61内设置有ph检测仪611，通过设置ph检测仪611，便于观察反应腔61内的酸碱度，以便在ph值小于5.5以下时，进行更换。
21.喷淋组件包括管体74、第一喷淋件71、第二喷淋件72和第三喷淋件73，第一喷淋件71、第二喷淋件72和第三喷淋件73三者结构相同，第一喷淋件71包括水管711和喷头712，第一喷淋件71的喷头712位于出气管道12内，通过第一喷淋件71的喷头712对出气管道12中的大量颗粒、hf气体等进行喷淋，一方面降低颗粒、hf气体的温度；另一方面，对颗粒、hf气体进行喷淋，喷淋水使颗粒进入粉碎机4中，便于粉碎。第二喷淋件72和第三喷淋件73的喷头712位于喷淋管道5内，对喷淋管道5中的气体再次进行喷淋，进一步减少气体中裹挟的粉尘分离出。
22.输出管道63处设置有过滤箱8，过滤箱8上连通有排气管81。本实施例中，排气管81
用于连接厂务端排气系统。过滤箱8对输出管道63内的气体进行过滤，吸附气体中携带的水汽、粉尘等，避免水汽、粉尘等进入后续的管道中。
23.粉碎机4的上下两端均设有水封接头41，水封接头41上连接有导管411，导管411与管体74连通。通过设置水封接头41，一方面，便于对粉碎机4进行检修；另一方面，增强粉碎机4与出气管道12和u型管道3连接的密封性。
24.加热腔1上设置有自然吸气阀14，加热腔1内的气体燃烧时，产生负压，自然吸气阀14自动打开，并向加热腔1内补充空气，保证加热腔1内正常燃烧。自然吸气阀14上设有过滤网141，避免外界的杂物进入到加热腔1内。
25.本实用新型的一种pecvd尾气处理装置使用时，pecvd尾气通过进气管道11进入到加热腔1中，在加热腔1中燃烧后，大量颗粒、hf气体等从出气管道12排出加热腔1，第一喷淋件71的喷头712对出气管道12中的大量颗粒、hf气体等进行喷淋，喷淋水使颗粒进入粉碎机4中，粉碎机4将颗粒粉碎后，流入入u型管道3内，并通过连接管31被水泵2抽出；气体则通过u型管道3进入到喷淋管道5中，第二喷淋件72和第三喷淋件73再次对气体进行喷淋，进一步减少气体中裹挟的粉尘分离出。
26.气体通过输入管道62进入反应腔61内，使hf气体与一水合氨液体发生反应，将hf气体吸收，并将其余气体通过排气管81排入厂务端排气系统。
27.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本实用新型进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本实用新型技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。本实用新型未详细描述的技术、形状、构造部分均为公知技术。技术特征：
1.一种pecvd尾气处理装置，包括加热腔、喷淋组件和水泵，其特征在于：所述加热腔内设置有电子加热棒，所述加热腔一端设置有进气管道，另一端设置有出气管道，所述出气管道的末端设置有u型管道，所述出气管道与u型管道之间安装有粉碎机，所述u型管道的一端与粉碎机连通，另一端连接有喷淋管道，所述喷淋管道的末端设置有反应组件，所述反应组件包括反应腔、输入管道和输出管道，所述输入管道和输出管道均与反应腔连通，所述反应腔内装填有一水合氨，所述输入管道的自由端与喷淋管道连通，所述u型管道底部设有连接管，所述水泵的进水口与连接管连通。2.根据权利要求1所述的一种pecvd尾气处理装置，其特征在于：所述喷淋组件包括管体、第一喷淋件、第二喷淋件和第三喷淋件，第一喷淋件、第二喷淋件和第三喷淋件三者结构相同，第一喷淋件包括水管和喷头，所述第一喷淋件的喷头位于出气管道内，所述第二喷淋件和第三喷淋件的喷头位于喷淋管道内。3.根据权利要求1或2所述的一种pecvd尾气处理装置，其特征在于：所述反应腔内设置有ph检测仪。4.根据权利要求1或2所述的一种pecvd尾气处理装置，其特征在于：所述输出管道处设置有过滤箱，所述过滤箱上连通有排气管。5.根据权利要求2所述的一种pecvd尾气处理装置，其特征在于：所述粉碎机的上下两端均设有水封接头，所述水封接头上连接有导管，所述导管与管体连通。6.根据权利要求1或2或5所述的一种pecvd尾气处理装置，其特征在于：所述加热腔上设置有自然吸气阀，所述自然吸气阀上设有过滤网。
技术总结
本实用新型属于尾气处理技术领域，具体涉及一种PECVD尾气处理装置，包括加热腔、喷淋组件和水泵，加热腔内设置有电子加热棒，加热腔一端设置有进气管道，另一端设置有出气管道，出气管道的末端设置有U型管道，出气管道与U型管道之间安装有粉碎机，U型管道的一端与粉碎机连通，另一端连接有喷淋管道，喷淋管道的末端设置有反应组件，反应组件包括反应腔、输入管道和输出管道，输入管道和输出管道均与反应腔连通，反应腔内装填有一水合氨，输入管道的自由端与喷淋管道连通，U型管道底部设有连接管，水泵的进水口与连接管连通。解决现有技术尾气燃烧产生的大量颗粒容易堵塞管道，而且管道中的HF和水蒸气吸附在管道上时，会腐蚀管道的问题。的问题。的问题。
技术研发人员：姚林松 黄川 陈丽祥 王亮
受保护的技术使用者：威科赛乐微电子股份有限公司
技术研发日：2021.08.25
技术公布日：2022/6/7
声明：
“PECVD尾气处理装置的制作方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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编辑：中冶有色技术网
来源：威科赛乐微电子股份有限公司
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2024年08月07日 ~ 09日 
