本发明涉及一种制备AZO靶材的工艺,其包括将菱锌矿粉加入氨水和碳酸氢氨溶液中进行浸出,对浸出液进行除杂、过滤;将过滤后的固体先用氨水溶液洗涤,再用无水乙醇淋洗;接着进行陈化、抽滤,得到前驱体;将前驱体干燥、煅烧,得到纳米氧化锌粉体;将上述纳米氧化锌粉体和
氧化铝粉体加入聚丙烯酸溶液中,形成悬浮液,再对悬浮液进行球磨;接着将过硫酸铵和四甲基乙二胺均匀加入球磨后的悬浮液中,进行真空除气后倒入模具,并固化、脱模干燥得到生坯;对生坯排胶处理后进行烧结,得到 AZO 靶材。本发明不仅工艺流程较短,设备投资较小;本发明将氧化锌纳米级颗粒通过上述工艺制备的AZO靶材成分分布均匀、密度高,提高了AZO靶材的使用性能。
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