boe废液在线再生的方法
技术领域
1.本发明涉及废液回收领域，特别是指一种boe废液在线再生的方法。
背景技术：
2.boe(buffered oxide etch)，缓冲氧化物蚀刻液，简称“缓冲蚀刻液”。由氢氟酸(hf)与氟化铵(nh4f)依不同比例混合而成。用于半导体元件(例如芯片)的蚀刻，hf主要起蚀刻反应作用，nh4f则作为缓冲剂使用；hf与硅反应，nh4f固定h+的浓度，使之保持一定的蚀刻率。
3.各工厂的boe配比并不完全相同。6：1的boe缓冲蚀刻液即表示49％hf水溶液与40％nh4f水溶液按照体积比1：6的成分混合而成，hf和nh4f混合后，部分形成氟化氢铵(nh4hf2)。正常情况下，对半导体元件的刻蚀速度约为10nm/sec。
4.当boe蚀刻液使用一定时间后，就作为废液排出，成为boe废液。
5.boe废液主要成分为氟化铵(nh4f)和氟化氢铵(nh4hf2)，同时含有少量的氟硅酸铵；属于危废！大部分半导体工厂委托有资质的危废处置单位进行无害化处理，即：通过加入石灰或消石灰，反应成氟化钙和氨水；有条件的处置单位会回收氨水，氟化钙成为污泥，作无害化填埋。这种处置方式成本高、污染大、污泥处置费用高，关键是资源没有得到有效利用，是一种得不偿失的方法。
6.通过回收处理，可以把boe废液生产为氢氟酸和氨。
7.boe蚀刻液虽然是由氢氟酸和氨组成，但氢氟酸和氨并不等于是boe蚀刻液；半导体工厂产生的boe废液只能委托有处理能力的工厂进行处理，并且要支付高昂的费用。而半导体工厂仍然要从市场采购boe蚀刻液。
8.如果能把boe废液能重新再生为boe蚀刻液，回到半导体产线，半导体工厂就不再需要支付费用委外处理boe废液，也可大大减低采购boe蚀刻液的成本，不仅节省了boe废液和boe蚀刻液的运输成本，还可以使有效氟资源和氨资源得到全面的循环利用，是利国利民的好事。
9.因此，有必要研发一种boe废液在线再生的方法，使boe废液的有效资源得到全面的、省事的、节约成本的回收利用。
技术实现要素：
10.本发明提出一种boe废液在线再生的方法，解决了现有技术中boe废液处理难以及无法再回到生产线的问题。
11.本发明的技术方案是这样实现的：
12.一种boe废液在线再生的方法，包括：
13.boe废液与氨反应，生成氟化铵溶液；所
声明：
“BOE废液在线再生的方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
967
编辑：中冶有色网
来源：浙江容跃环保科技有限公司
分享 0
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
2025年05月16日 ~ 18日 
