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刻蚀废液混酸的处理方法与流程

983   编辑:中冶有色网   来源:四川高绿平环境科技有限公司  
2023-09-18 16:28:50
本发明涉及混酸回收处理,特别是一种刻蚀废液混酸处理方法。 背景技术: 玻璃刻蚀废液、硅片刻蚀废液包括氢氟酸、硝酸、硫酸、氟硅酸的水溶液,刻蚀过程会产生大量的刻蚀废液,其呈酸性。 目前对于刻蚀废液,主要利用碱如氢氧化钙或者碳酸钙等进行中和处理,但是这种方法不仅浪费废液中的酸资源,而且会产生大量的废水,进一步造成环境负担。 技术实现要素: 本发明的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种刻蚀废液混酸处理方法,可以以金属盐的形势回收废液中有价值的氢氟酸、硝酸、硫酸以及氟硅酸。 本发明的目的通过以下技术方案来实现:一种刻蚀废液混酸处理方法,刻蚀废液混酸包含:氟离子、硫酸根离子、氟硅酸根离子以及硝酸根离子,方法包括第一方案以及第二方案,第一方案包括:将刻蚀废液混酸与石灰反应使氟离子、硫酸根离子以及氟硅酸根离子制得钙盐,硝酸根离子与钠盐反应制得硝酸钠并结晶脱除;第二方案包括:将刻蚀废液混酸与石灰反应使氟离子、硫酸根离子、氟硅酸根离子以及硝酸根离子均制得钙盐。 进一步地,第一方案包括:s1、将刻蚀废液混酸与石灰反应制得caf2、casif6以及caso4三个沉淀物,还有第一废液,将第一废液的ph控制为7-10; s2、将化学试剂a与第一废液反应制得第二废液,进行固液分离得到第一沉淀和第一滤液,化学试剂a的加入量为上一步石灰重量的50%; s3、将第一滤液与化学试剂b反应然后进行固液分离得到第二沉淀和第二滤液,化学试剂b的加入量为上一步化学试剂a重量的50%-100%; s4、使用硝酸调节第二滤液的ph值至6-8,然后进行提浓,再加入钠盐并进行蒸发结晶得到含水率25%的硝酸钠固体,最终干燥制得含水率低于5%硝酸钠。 进一步地,第二方案包括: s1、将刻蚀废液混酸与石灰反应制得caf2、casif6以及caso4三个沉淀物,还有第三废液,将第三废液的ph控制为7-10; s2、将第三废液进行固液分离得到第三沉淀和第三滤液; s3、并将第三滤液与惰性剂反应,然后加入硝酸调节ph值至6-8,然后进行蒸发结晶得到含水率25%的钙盐固体,最终干燥制得含水率低于5%钙盐固体。 进一步地,化学试剂a中化学组分配比为:ca:f:si:so4=1:2:3:4。 进一步地,化学试剂b中化学组分配比为:ca:f:si:so4=1:2:2:1。 进一步地,惰性剂的化学组分配比
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