1.本发明涉及废水回收再利用技术领域，尤其涉及一种研磨废水的处理装置和处理方法。
背景技术：
2.研磨废水是一种统称，在芯片行业的晶棒、晶圆的制造和封装测试过程中，需要经过切割、研磨、划片和减薄等工艺，产品经过清洗后会产生大量的冲洗废水，该类废水的主要特点为：高固含量：一般颗粒(ss)含量为300～2000ppm，主要成分以sio2为主，还有一些硅酸盐、氧化钙、氧化镁以及三氧化二铝等；粒径极细：该类废水的颗粒粒径常规在0.1～100μm之间，极难沉淀；低有机物：该类废水的有机物含量较低(0.5～3mg/l)，通常只含有少量的表面活性剂；低盐分：由于该类废水大部分是采用纯水或者高纯水冲洗，所以该废水的电导率极低。同时，所述研磨废水中的cod含量《50mg/l，ph为6～8，石油类物质的含量《1mg/l。
3.目前，针对该类废水，常用的处理工艺如图1所示，其是将该类废水依次经过调节池、反应池、助凝池和沉淀池进行处理后，得到的沉淀经过污泥浓缩池，得到的沉淀和废水的混合液依次经过清水池和酸碱废水系统进行处理。但是该工艺面临以下问题：1、达不到直排标准需要再处理，造成资源浪费；2、药剂成本大：由于研磨液呈现出较强的稳定性需要加入大量的絮凝剂才能起到絮凝作用，这无疑增加了企业的投入成本；3、污泥量大：随着絮凝剂的大量加入，产生的污泥量也随之增加，使得后续的污泥处理难度加大。由此可见，传统的处理工艺成本高、处理难度大。
技术实现要素：
4.本发明的目的在于提供一种研磨废水的处理装置和处理方法，所述处理装置可以缩减处理工艺成本，降低处理难度。
5.为了实现上述发明目的，本发明提供以下技术方案：
6.本发明提供了一种研磨废水的处理装置，包括原水池1、反应池2、浓缩池3、有机管式膜4、产水池5、污泥池6和压滤机7；
7.所述原水池1、反应池2、浓缩池3、有机管式膜4和产水池5依次管路连接；
8.所述原水池1、反应池2、浓缩池3、污泥池6和压滤机7依次管路连接并形成循环回路。
9.优选的，所述原水池1和反应池2之间设置有原水泵8；
10.所述反应池2设置有沉淀剂的加药进口。
11.优选的，所述有机管式膜4通过管路回连浓缩池3。
12.优选的，所述浓缩池3和有机管式膜4之间通过管路依次连接有供料泵9和循环泵10；
13.所述有机管式膜4通过管路回连循环泵10。
声明：
“研磨废水的处理装置和处理方法与流程” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
618
编辑：中冶有色网
来源：江苏峰科达技术股份有限公司
分享 0
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
2025年06月13日 ~ 15日 
