本实用新型公开了一种背面微光显微镜用装置,该装置包括:包装体、引脚、
芯片固定装置和透光玻璃;所述包装体分为上部、中部、底部,上部和中部之间设有引脚,中部放置芯片,底部放置透光玻璃,中部位置设有芯片固定装置,所述的透光玻璃位于芯片的反面。采用本实用新型背面微光显微镜用装置,可以从装置体背面直接抓取亮点,且可以实现多通道复杂向量施加,并且可以重复使用,方便快捷,可在集成电路失效分析以及封装等方面发挥积极作用。
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