本发明公开了一种钡基复合
钙钛矿结构微波介质陶瓷Ba3Zn(Nb2‑xMox)O9+x/2(x﹦0.006~0.009),材料介质体系组成简单,采用非化学计量比,内部含有微量的晶格缺陷,有助于烧结过程中的元素扩散与重排;煅烧过程采用煅烧+球磨+煅烧的预烧工艺,使得物相的合成更加完全,没有杂相;烧结温度为1400‑1450℃,烧结与退火过程采用同种组分埋烧并加盖烧,既防止了元素的挥发,又可避免不同组分埋烧带来的杂质元素的引入,保证了烧结过程体系化学组分的一致;采用后退火工艺进一步改善了体系内的元素有序分布状况,提高了体系的微波介电性能。本发明能够满足新兴的5G通讯网络28GHz的Ka波段通信需求,介电常数为36~39,品质因数(Qf)为90, 000~110,000GHz,谐振频率温度系数为‑22~24ppm/℃。
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