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电迁移加速测试方法

805   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 09:00:18
本发明提供了一种电迁移加速测试方法，包括：获取能消除测试结构焦耳热的临界电流密度；预估测试结构总数；对所述测试结构施加多个低于临界电流密度的电流进行电迁移加速测试使测试结构加速失效，并得到加速失效时间；当测试结构加速失效数量达到预设值时，停止测试，获取失效测试结构的加速失效时间对累计加速失效率的分布；根据测试结构的加速失效时间对累计加速失效率的分布计算测试结构的寿命。通过获取能消除测试结构焦耳热的电流范围，再从其中选取多个电流密度对应的电流对测试结构进行电迁移加速测试，避免了电迁移加速测试中焦耳热的影响，最终使获取的测试结构的寿命更加准确。
声明：
“电迁移加速测试方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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