本公开实施例公开了一种物理失效分析样品及其制备方法,所述方法包括:提供待分析结构;其中,所述待分析结构包括相对设置的第一表面和第二表面,失效区域位于所述第一表面和所述第二表面之间;在所述待分析结构的第一表面形成凹槽;其中,所述凹槽包括第一侧壁和第二侧壁,所述第一侧壁覆盖所述失效区域;在所述第一侧壁与所述失效区域之间的相对距离小于预设距离时,轰击所述第二侧壁的组成粒子;其中,被轰击的至少部分所述组成粒子溅射至所述第一侧壁,形成覆盖所述失效区域的第一保护层。
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