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CPI测试结构及基于该结构的失效分析方法

796   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:59:29
本发明公开了一种CPI测试结构，包括：基底，其中形成有层间介电层；钝化层；设置在所述基底表面；顶层金属层，设置在所述钝化层下方；层间金属层，其包括贯穿所述层间介电层的层间互连结构，所述层间互连结构设置有首端和末端，所述首端和末端分别与顶层金属层电连接；所述层间互连结构还包括多个凸出端部，所述凸出端部延伸至顶层金属层并与顶层金属层电连接。本发明可节省失效分析过程中剥掉更多金属及介电层次所花的时间，提高失效分析效率。本发明还涉及一种基于该CPI测试结构的失效分析方法。
声明：
“CPI测试结构及基于该结构的失效分析方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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