本发明公开了一种通用型
芯片失效分析的测试设备,其测试夹具包括底板、载板及夹板,底板中央设有金属凸起,载板设有通孔,通孔内壁均设有金属弹片,通孔内设有用于与被测芯片的引脚连接的连接件,连接件包括设于载板上表面的金属薄片及连接于金属薄片下的金属探针,金属探针套设有弹性部件,且弹性部件固定于通孔内壁,被测芯片置于载板上表面时,夹板轻压于被测芯片上,被测芯片的引脚压于金属薄片上,弹性部件一起被压缩,且金属探针与金属凸起电性连接,同时金属弹片被压缩;其测试装置包括测试机台及逻辑开关,测试机台通过逻辑开关对被测芯片输出测试信号。本发明是一种能够广泛适用于各种封装结构的芯片进行失效分析的测试设备。
声明:
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