本发明提供了一种多孔
氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法,其特征在于,该方法包括根据多孔氧化铝薄膜在200nm~2500nm范围内的透射光谱米判断多孔氧化铝薄膜是否含有阻挡层,其中,如果透射光谱在200nm~2500nm范围内出现振荡,则判断该多孔氧化铝薄膜的阻挡层的厚度大于0;如果透射光谱在200nm~2500nm范围内不出现振荡,则判断该多孔氧化铝薄膜的阻挡层的厚度为0。本发明的方法是一种无损检测方法,该方法能够简便、快速、高效、对样品无损害地监控以及检测多孔氧化铝薄膜的阻挡层的去除程度,在大规模生产中可以作为产品控制以及质量检测的重要手段。
声明:
“多孔氧化铝薄膜的阻挡层厚度的检测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)