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基于聚焦离子束加工的电子显微三维重构地质样品制样方法

1079   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-02-26 00:40:03
本发明公开了一种基于聚焦离子束加工的电子显微三维重构地质样品制样方法，涉及地质行业检测技术领域，所述方法包括以下步骤：S1、将地质目标样品采用机械切割加工出平整的光滑表面；S2、对感兴趣区域沉积保护层，且沉积保护层的厚度为2‑4μm；S3、提取感兴趣区域样品，并将提取出来的样品焊接到透射电子显微镜用的载网上；S4、用聚焦离子束将提取的样品加工为针状，直到加工至电子束可穿透的厚度，然后获得可在透射电子显微镜下进行三维重构数据采集的样品。该发明提供一种能够实现360°全角度电子显微三维重构数据采集的地质样品制备方法，不会因为样品本身的形状限制产生楔形数据缺失。
声明：
“基于聚焦离子束加工的电子显微三维重构地质样品制样方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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