本实用新型提供了一种用于紫外激光器的多级选择性空气净化系统,包括:真空蠕动泵和多个净化组件;通过设置真空蠕动泵,使得固体紫外激光器腔体内部的空气循环,同时设置多个净化组件,通过矿物干燥剂去除循环空气中的水分,通过活性炭及分子筛去除有机气体分子,通过活性铁粉去除氧分子,从而达到对腔内的空气高度净化的目的;通过设置第四净化组件,防止颗粒物进入到真空蠕动泵造成污染;通过设置第五净化组件,防止颗粒进入固体紫外激光器腔体内部;整个装置与固体紫外激光器腔体形成循环通路,长时间的循环工作能够将二次污染降到最低,确保完全与外界隔离。
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