合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 分析检测技术

> 化学分析技术

> SiC外延层的制备方法及装置

SiC外延层的制备方法及装置

907   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 08:23:07
本发明提供一种SiC外延层的制备方法及装置，其中制备方法包括以下步骤：提供一SiC衬底，并将SiC衬底放入一反应腔室中；向反应腔室通入反应气体及掺杂气体，使反应气体及掺杂气体吹向SiC衬底表面，且反应气体及掺杂气体的气流方向垂直于SiC衬底表面；加热SiC衬底，并采用化学气相沉积法在SiC衬底表面生长SiC外延层；采用光波监测系统监测正在生长的SiC外延层的掺杂浓度，并根据监测到的掺杂浓度控制通入的掺杂气体的气体流量。本发明将反应气体及掺杂气体垂直吹向SiC衬底表面，并可采用光波监测系统实时监测掺杂浓度，从而在所述SiC衬底表面获得厚度均匀性及掺杂浓度均匀性均较高的SiC外延层，实现对掺杂浓度的精确控制，获得高产率、高性能的SiC外延层。
声明：
“SiC外延层的制备方法及装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
化学分析
上一个：电镀银电极太阳电池制备方法
下一个：半导体装置、半导体结构的形成方法

与 “SiC外延层的制备方法及装置” 相关技术

▪ 钨板材及其制备方法
▪ 渗碳剂、超粗碳化钨粉的制备方法
▪ 铝灰固化装置
▪ 铝电解废碳素用于烟化炉的方法
▪ 铝电解废碳素用于炼铅还原炉的方法
▪ 从电解铝固废中高效分离提锂的系统及方法
▪ 铅冶炼尾气处理设备及方法
▪ 用于金属冶炼的高效多功能机械搅拌装置
▪ 矿用掘进钻车
▪ 矿用移动式螺杆空压机

相关化学分析设备推荐

土壤分析仪-土壤测试仪
空间式空间粉尘浓度检测仪
大连瑞安随身式四合一气体探测仪
四层管式天合土壤监测墒情设备
浙江托普 TEN-30 土壤张力计 土壤水势计
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪钨板材及其制备方法
▪渗碳剂、超粗碳化钨粉的制备方法
▪铝灰固化装置
▪铝电解废碳素用于烟化炉的方法
▪铝电解废碳素用于炼铅还原炉的方法
▪从电解铝固废中高效分离提锂的系统及方法
▪铅冶炼尾气处理设备及方法
▪用于金属冶炼的高效多功能机械搅拌装置
▪矿用掘进钻车
▪矿用移动式螺杆空压机

报名参会
更多+

第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
2025年03月25日 ~ 27日
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025中国结构材料大会暨第十一届全国有色金属结构材料制备/加工及应用技术交流会
2025年03月28日 ~ 30日
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025非金属矿物加工利用科技创新大会
2025年03月28日 ~ 30日
中国新能源材料与器件第七届学术会议
中国新能源材料与器件第七届学术会议
2025年03月28日 ~ 30日
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2024新能源矿产资源科技创新发展论坛
2025年04月27日 ~ 29日

报告下载

1 矿产品能力验证计划中样品的选取
下载:136
2 取、制样安全浅析
下载:125
3 取、制样现状及未来规划/需求
下载:100
4 自动化样品制备助力准确高效的矿
下载:93
5 浅谈质量检验管理风险防控的重点
下载:92
6 样品变质引起采制样和结算问题
下载:90
7 矿产品人工取样方案的制定及案例
下载:87
8 用于X荧光分析的样品前处理及其
下载:86
9 不均匀样品给第三方检测机构和贸
下载:85
10 制样室装修设计技巧
下载:84
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1防爆阀保护膜
2压力平衡机构
3水电站的尾水预埋件
4化工矿产有色金属的检测机构
5矿石分类与实时定量分析的光谱检测新方法
6矿石中有色金属成分和含量的检测装置
7有色金属现货状态评估系统及方法
8有色金属废料中铁磁性杂质检测设备及检测工艺
9高温熔体缓冷装置及渣包测温方法
10便携式矿山测量激光仪
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记