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半导体领域用高品质石英砂的制备方法

782   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-18 00:30:02
一种半导体领域用高品质石英砂的制备方法,其主要包括粉碎、筛分、磁选、预热、高温氯化、酸化、浮选、清洗、烘干、冷却、包装等步骤,其中在高温条件下通入氯化氢气体进行氯洗;在高温氯化前采用高温预热的方式,使高温氯化时物料的温度迅速能够达到氯化工艺要求的温度,对石英砂中的碱金属等杂质的去除有很好的效果;酸化选用氢氟酸与盐酸混合作为酸化液,能够去除石英砂中的晶格及非晶格杂质;浮选选用胺类及石油磺酸钠为捕收剂,松醇油为起泡剂,用盐酸和硫酸为调整剂,反浮选的方式选出石英砂中的长石及云母等硅酸盐矿物。采用本发明的制备方法,可以从天然石英矿物中批量生产出半导体领域用高品质石英砂,替代进口,填补国内空白。
声明:
“半导体领域用高品质石英砂的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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