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一类用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液

789   编辑:管理员   来源:中冶有色技术网  
2023-03-19 07:25:57
本发明提供一类适用于电化学电容-电压(ECV)方法测量锑化物半导体材料载流子浓度剖面分布电解液,目的在于提高电化学电容-电压方法测量锑化物材料载流子浓度的准确性。其基本特征在于:基础溶液为酒石酸钾钠的水溶液;在测量不同导电类型(p型或n型)的锑化物半导体材料时,分别添加酸性溶液或者碱性溶液以形成可靠的电解液—半导体肖特基结,从而达到准确测量的目的。添加的酸性溶液可以是盐酸、酒石酸或冰醋酸等非氧化性酸或它们的混合物,添加的碱性溶液可为氢氧化钠或氢氧化钾与乙二胺四乙酸(EDTA)的混合溶液。在电化学C-V方法测量中采用此电解液测量锑化物材料的剖面载流子浓度,能获得与霍尔等方法测量结果相符的结果,并且具有无毒性、易保存等优点。
声明:
“一类用于测量锑化物材料载流子浓度剖面的电解液” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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