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电化学气体传感器及其器件封装方法

765   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:03:20
本发明涉及一种电化学气体传感器及其器件封装方法，包括：上盖板、电极板、基板；所述上盖板使用多孔陶瓷材料，待测气体可通过陶瓷微小气孔进入传感器内部；所述电极板背面为三电极共面体系的微间距传感器电极，电极上覆盖有固态电解质层，并密封于基板挖槽内；所述电极板通过粘合剂耦合在所述基板上，并通过金丝绑定与所述基板电气相连。本传感器实现了部件少、体积小、灵敏度高、使用寿命长的封装设计。
声明：
“电化学气体传感器及其器件封装方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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