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用于化学机械研磨的固定环

729   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 07:00:54
本实用新型公开了一种用于化学机械研磨的固定环，适于固定一晶片，所述固定环包括：一环形本体，其内部开设有一环形通道；至少一个第一孔，分布在环形本体的外壁上，且与环形通道连通；多个第二孔，均匀分布在环形本体的内壁上，且与环形通道连通，当化学机械研磨工艺被中断时，通过由固定环内壁孔中喷射出的保护液清洗金属表面的研磨液，可防止金属被腐蚀，减少在后续工艺中金属表面产生擦痕，并且延长机器检修时间。
声明：
“用于化学机械研磨的固定环” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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