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化学气相沉积反应腔装置及具有其的化学气相沉积设备

656   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:55:29
本发明提出一种化学气相沉积反应腔装置，包括：腔室本体，腔室本体内限定有反应腔室；上陪片，上陪片固定在反应腔室内，且上陪片设有至少一个检测通孔；托盘，托盘位于上陪片之下；旋转机构，旋转机构与托盘相连，且旋转机构用于驱动托盘旋转；和检测仪，检测仪设在腔室本体外且与上陪片的至少一个检测通孔对应。本发明还提出一种化学气相沉积设备。根据本发明的化学气相沉积反应腔装置能够降低检测仪的检测难度，提高检测精度。应用本发明的化学气相沉积设备使温度和成膜厚度检测更为精确，且节省检测时间。另外，本发明实现简单，成本低。
声明：
“化学气相沉积反应腔装置及具有其的化学气相沉积设备” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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