本发明公开一种
钙钛矿太阳能电池的镀膜前监测设备,包括基座、清洗风刀装置、图像采集装置和控制装置;基座的台面设有用于输送TCO基片的传输带;清洗风道装置安装于基座,并悬设于传输带上方;清洗风道装置用于清洗并吹干TCO基片;图像采集装置安装于基座,并悬设于传输带上方;图像采集装置用于采集经过清洗风刀装置清洗和吹干的TCO基片的图像;控制装置用于接收图像采集装置采集的图片,并比对预设的TCO基片模板尺寸,以监测TCO基片是否有漏刻和/或划线偏移情况。上述镀膜前监测设备能够监测TCO基片的P1划线质量,在镀膜前筛选出P1划线划线质量差的TCO基片免于进行镀膜,提高镀膜工艺的良品率。本发明还提供用于上述镀膜前监测设备的镀膜前监测方法。
声明:
“钙钛矿太阳能电池的镀膜前监测设备和镀膜前监测方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究,如用于商业用途,请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)