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改进的具有精确边界点检测的化学机械抛光系统

822   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 06:45:15
一种用于抛光一工件的装置,该装置包括一个工件夹具(104),其被构造成能够夹持该工件的结构形式;一个抛光元件(102),其被构造成能够设置在工件的一表面附近以便通过该抛光元件的一正面抛光所述表面的结构形式;以及一个具有多个压力区(Z1-Z4)的压板(600),该压板被构造成能够选择性地向所述抛光元件施加压力从而使抛光元件在选择的压力作用下接触该工件的表面的结构形式。在本发明的另一个实施例中,该装置还包括一个连接到该压板上的压力控制器(564),该压力控制器被构造成能够选择性地调节压力区(Z1-Z4)的结构形式。
声明：
“改进的具有精确边界点检测的化学机械抛光系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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化学分析
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