本发明提供一种超轻元素碳的电子探针线分析定量检验方法,选取多个化学光谱分析用标样加工制备成10×10mm电子探针线分析用碳标准样品,利用面扫描模式代替点扫描模式获取碳的修正曲线,对待测样品进行线扫描分析,再应用碳的校正曲线对待测样品进行碳含量定量分析。可解决电子探针原有标样因尺寸小而不能用于大面积分析的难题,减少碳污染和微区成分不均匀以及电子束移动方式不同而产生的误差,因此所获得的修正曲线误差明显小于常规方法,从而保证获得的碳元素线分析结果准确可靠,解决了超轻元素碳的电子探针线分析定量不准确的问题,为更好地控制生产工艺和提高产品质量提供了可靠的数据依据。
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