本实用新型涉及一种
钙钛矿薄膜的蒸发设备,包括分开设置的蒸发系统和沉积系统,蒸发系统和沉积系统通过蒸汽通道相互连通,蒸发系统包括沉积腔体,在沉积腔体内设置有放置待沉积基板的沉积支架,在沉积腔体的蒸汽通道进入口与待沉积基板之间设置有网筛,在网筛上设置有多个便于蒸汽通过的通孔,蒸发系统蒸发的蒸汽通过蒸汽通道进入沉积腔体,并经过网筛的通孔后均匀地分布在待沉积基板的表面上。本实用新型将蒸发系统和沉积系统分置于不同的腔室,且可以单独控制蒸发系统和基板所在沉积系统的腔室温度。另一方面,在沉积腔体里设置了网筛,使进入沉积腔体的蒸汽均匀分布,使每个基板接触到的气流相同,改善了成膜质量。
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