本发明属于化学气体纯化领域,公开了一种一种用于氮气、氧气、氩气和氦气的纯化装置及其工艺。装置包括原料气入口监测组,气体催化氧化组,吸附组,外接再生气体入口监测组,产品再生气阀门仪表组,产品出气组,排液组,废气排放口;工艺分为催化氧化工序和吸附工序;根据工况深度脱除原料其中的微量杂质氧、水、二氧化碳、一氧化碳、氢气和甲烷等杂质或其中某种或多种杂质,并可以起到过滤固体杂质的效果。
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