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回收硅片切割液的方法

1016   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:51:20
本发明涉及一种从硅片切割生产过程产生的废切割液中,回收切割液的精制办法。按照本发明提供的技术方案,所述从硅片切割生产过程产生的废切割液中回收切割液的方法,包括如下步骤:步骤一,分离固体份,在分离设备中去所述除废切割液中的固体份;步骤二,精密过滤,将去除了固体份后的废切割液送入精密过滤器;步骤三,膜分离,利用水泵使经过精密过滤后的废切割液通过分子量在50000-7000000MW的过滤膜;步骤四,离子交换,将经过膜分离后的废切割液通过离子交换设备;步骤五,蒸发浓缩脱水,经过离子交换后的废切割液送入浓缩设备内,形成可回用的切割液。本发明可以有效解决目前切割液回收行业中存在的固液分离困难、回收液纯度不高,回收收率较低等普遍问题。
声明：
“回收硅片切割液的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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