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三甲硅烷基胺的制备方法及系统

1086   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:51:18
本发明公开了三甲硅烷基胺的制备方法及系统，包括如下内容：将N2、H2、SiClxH4‑x的混合气体在电磁场作用下反应，0≤x≤2。本发明实现了氮气与氢气的非热等离子体与氯硅烷的高效反应，在低温低压条件下成功制得三甲硅烷基胺，条件温和，安全性高；且无固体副产物生产，产物分离难度小，无需固废处理，工艺简单，可操作性强，有利于大规模工业化生产。
声明：
“三甲硅烷基胺的制备方法及系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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