本发明提供了一种处理三氯氢硅合成过程产生的废弃硅粉的方法,包括以下步骤:(1)溶剂清洗:取废弃硅粉,加入有机溶剂进行清洗,离心分离,分别收集离心溶液和沉淀物;(2)去离子水洗涤:用去离子水洗涤沉淀物,干燥,筛分,制得硅粉混合物;(3)酸浸:取步骤(2)中制得的硅粉混合物,加入酸液进行浸泡,离心分离固液,取固体进行去离子水洗涤,干燥,即得再生硅粉。本发明能够处理含有油污和难溶性无机盐的废弃硅粉,将其回收利用制成高纯度的再生硅粉,并重新用作三氯氢硅合成过程的原料,达到了资源回收再利用程度的最大化,具有巨大的经济效益和社会效益。
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