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硅片切割废砂浆的回收方法

763   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:31:42
本发明提供了一种硅片切割废砂浆的回收方法,包括以下步骤:a.硅片切割废砂浆固液分离,得到固体砂料和液体份;b.步骤a中得到的液体份中加入脱色剂、离子吸附剂和助滤剂,固液分离,得到聚乙二醇切割回收液;c.步骤a中得到的固体砂料通过磁选分离去除金属,得到硅与碳化硅的混合物;d.将步骤c中得到的硅与碳化硅的混合物在1425-1550℃下真空加热;冷却至室温后筛网过滤,收集筛下的物质得到碳化硅微粉,收集筛上的物质得到硅块;粉碎硅块得到硅粉。本发明提供的回收方法非常环保,且对硅和碳化硅的分离较彻底,回收到的聚乙二醇、碳化硅和硅粉的纯度较高。
声明：
“硅片切割废砂浆的回收方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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