本发明涉及一种
多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法,它包括以下步骤:(a)在搅拌条件下,向废液中加入碱金属化合物反应至不再产生沉淀,过滤得第一沉淀和第一滤液;(b)在搅拌条件下,向所述第一滤液中加入碱土金属化合物反应至不再产生沉淀,过滤得第二沉淀和第二滤液;(c)对所述第二滤液进行浓缩结晶得硝酸盐固体。本发明多晶硅制绒刻蚀废液的处理方法,通过向废液中加入碱金属化合物反应至不再产生沉淀,过滤后向滤液中加入碱土金属化合物再过滤,最后浓缩,这样能够将废液中的氟硅酸根离子、氟离子除去,并得到氟硅酸盐、氟化盐及硝酸盐固体,既能够保护环境,又能够产生新的经济效益。
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