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多线切割硅片的废旧料浆回收方法

727   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:30:57
本发明公开了一种多线切割硅片的废旧料浆回收方法,包括下述步骤:将回收的废旧料浆用切割液稀释至固体质量占20%-25%;用连续离心分离法将6微米以粗的碳化硅刃料颗粒分离;用压榨机将剩余含有6微米以细的碳化硅微粉和硅微粉的切割液料浆压榨成滤饼;用微波对上述滤饼进行干燥;用气流分级机对滤饼进行碳化硅微粉和硅微粉的分级处理;将压榨出的切割液和切割液蒸汽用过滤机进行过滤后用活性白土吸附剂对其中的残余杂质进行吸附除杂后经脱水、脱色灌装回收。本发明优点在于对废旧料浆的处理中,整个生产过程无任何污染,不消耗水,节约能耗70%以上,产品回收率高达98%以上。
声明：
“多线切割硅片的废旧料浆回收方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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