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酸刻蚀硅晶片废酸液处理方法和系统

905   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:28:04
本发明提供了一种酸刻蚀硅晶片废酸液处理方法和系统，该处理方法包括：将钠盐溶液添加到酸刻蚀硅晶片废酸液中，并持续搅拌30～180min，形成第一固液混合物，通过离心，得到氟硅酸钠固体和第一滤液；向第一滤液中添加氢氧化钠溶液，控制pH至2‑4，并持续搅拌20～60min，形成第二固液混合物，通过离心，得到氟化氢钠固体和第二滤液；向第二滤液中添加氯化钙溶液，调节pH至2‑4，持续搅拌20～60min，形成第三固液混合物，通过离心，得到氟化钙固体和第三滤液；向第三滤液添加石灰乳，调节pH至8‑9，分离沉淀物和第四滤液，回收第四滤液，并将沉淀物作为固废处理。本发明提供的方案实现了对废酸液资源化利用。
声明：
“酸刻蚀硅晶片废酸液处理方法和系统” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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