本实用新型公开了一种去除超高纯正硅酸乙酯钢瓶中固体颗粒的装置。与现有技术相比,本实用新型采用双回路过滤,可同时处理两个钢瓶,提高了钢瓶的处理效率,以反复过滤取代大量高纯水清洗,不产生废液,也无需再对钢瓶进行除水处理,减少了钢瓶的处理时间且用量少,装置结构设计合理,操作简单,可以严格控制金属杂质含量在可接受范围之内,同时还可进一步设置有尾气吸附柱,解决了尾气排放环境污染的问题。
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