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利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法

1039   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 04:25:53
本发明公开了一种利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法,是以固体激光器为激光光源,使用周长为3～1000微米,且两个最远角距离或最长直径不超过400微米的小光斑进行逐点逐行激光扫描,其中小光斑内部的能量分布情况是:光斑中心能量最强,向四周能量逐渐变弱。本发明实现了小光斑无损激光剥离,改进了激光剥离扫描方式,从而实现了无需对版的盲打剥离方法,简化了激光剥离工艺过程,提高了效率,降低了废品率,为激光剥离工艺产业化扫清了障碍。
声明：
“利用固体激光器无损剥离GaN与蓝宝石衬底的方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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