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可裁剪的双面纳米带电极阵列集成传感器

944   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 02:46:41
本实用新型公开了一种可裁剪双面纳米带电极阵列集成传感器。选用硅片或玻璃作基底,采用MEMS技术将两种不同的电极材料沉积在基底的正反两个平面上,以光刻技术形成上下面对称的梳状工作电极和参考电极阵列,采用PECVD方法在两侧分别沉积有氮化硅绝缘层,光刻露出焊盘,在两面绝缘层上刻制与电极方向垂直的多条切割线。传感器定期裁剪抛光,多次使用延长器件寿命,提高并保持电极的一致和稳定性。传感器固定在TEFLON腔体内,采用差分脉冲阳极溶出伏安法,采集被测溶液的阻抗以及氧化还原电流信号。它可在江河湖海、生物医学、工业废水废气等领域中直接对溶液中的阴阳离子浓度进行定量检测,进行表面修饰后可对生物分子进行定性检测。
声明：
“可裁剪的双面纳米带电极阵列集成传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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