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空心玻璃微珠导电材料的制备方法

737   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 02:40:12
本发明公开一种空心玻璃微珠导电材料的制备方法,采用磁控溅射真空镀膜设备,以经过预处理的空心玻璃微珠作为基底,以金属银作溅射靶材,通过向真空室内充入惰性气体并同时在真空室内辉光放电,使金属银完全溅射到空心玻璃微珠表面生成银膜。通过调节磁控溅射真空镀膜设备中样品架的摆动频率和超声波振动功率,让空心玻璃微珠能充分暴露其表面,使所镀的金属银膜均匀性好且附着力强;通过改变磁控溅射真空镀膜设备真空室内的工作气压、溅射功率、温度、惰性气体的流量和溅射时间等工艺,可在不同粒径的空心玻璃微珠表面沉积不同厚度的金属银膜;该工艺操作简单,成本低廉,无废水废气污染,所制备的薄膜均匀,连续。
声明：
“空心玻璃微珠导电材料的制备方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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