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晶元研磨废水的回用处理工艺

1114   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 02:15:04
本发明公开了一种晶元研磨废水的回用处理工艺，包括如下步骤：将晶元研磨废水排入收集槽；收集槽内的液体经调节池进入pH调整池进行处理；pH调整池处理后的液体进入混合反应池进行处理；混合反应池处理后的液体进入絮凝反应池进行处理；絮凝反应池处理后的液体进入沉淀池进行处理；沉淀池处理后的液体经UF给水箱进入砂滤器进行处理；砂滤器处理后的液体进入UF装置进行处理；UF装置处理后的液体进入处理水箱待回用。本发明可对晶元研磨废水进行有效处理，处理后水质满足生产回用需求，可实现零排放，全回收。
声明：
“晶元研磨废水的回用处理工艺” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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