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硅基垂直槽式纳米线光调制器

1107   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:17:46
本发明公开了一种硅基垂直槽式纳米线光调制器，可用于光通信、集成光子学和硅基光子学等领域。在垂直槽式纳米线的基础上，通过在其缝隙区及上包层填充电光系数高、折射率低的聚合物材料，高折射率区为本征硅，两侧为铌酸锂并与电极直接接触，构建硅光调制器。通过该调制器的设计，可以实现缝隙区的光功率及射频电场最大，同时有效面积最小，获得最优的电光效应，使光场/射频电场的交迭积分因子最大、射频传输损耗低、光/射频模式的有效折射率匹配，以获得最佳的调制性能。
声明：
“硅基垂直槽式纳米线光调制器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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