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用于OLED掩膜版及坩埚清洗的组合物

887   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:15:04
本发明公开了一种用于OLED掩膜版及坩埚清洗的组合物，属于湿电子化学品领域，其所含各组分按质量百分数计为：无机强碱性物质5‑20%、有机碱0.5‑15%、有机助剂0.1‑50%、螯合剂0.1‑10%、PEG‑Gemini型非离子表面活性剂0.01‑10%、余量为水。本发明所得组合物能快速并有效的清洗去除蒸镀工艺中掩膜版及蒸镀设备坩埚上附着的氟化锂电极材料，且易清洗无残留，可有效提高清洗效率。
声明：
“用于OLED掩膜版及坩埚清洗的组合物” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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