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硅在纳米线上的结构受控的沉积

787   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:08:22
在本文中提供了用于锂离子蓄电池电极的纳米结构及制作方法。在一些实施方案中，提供了涂覆有硅涂层的纳米结构模板。该桂图层可包括非共形的更加多孔的层和该非共形的更加多孔的层上的共形的致密层。在一些实施方案中，使用了两种不同的沉积工艺，例如使用PECVD层来沉积该非共形的层并且使用热CVD工艺来沉积该共形的层。包括该纳米结构的阳极具有比使用单独PECVD工艺或热CVD方法制作的阳极长的循环寿命。
声明：
“硅在纳米线上的结构受控的沉积” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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