合肥金星智控科技股份有限公司
宣传

位置：中冶有色 >

有色技术频道 >

有色金属技术

矿山技术

冶金技术

材料制备及加工技术

环境保护技术

分析检测技术

> 材料制备及加工技术

> 加工技术

> 用于芯片实验室的声表面波微流体驱动器及其制造方法

用于芯片实验室的声表面波微流体驱动器及其制造方法

974   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:08:18
一种微机电系统技术领域的用于芯片实验室的声表面波微流体驱动器及其制造方法。本发明驱动器包括:基底、叉指换能器和微流体沟道,基底是128°Y-X的铌酸锂单晶体,其上是相互交叉的叉指电极形成的IDT,微流体沟道与基底结合,本发明采用浮动电极型单向换能器结构设计来实现微流体的单方向驱动。方法步骤:①浮动电极型单向换能器的加工;②微流体沟道的微加工;③基底与微流体沟道的结合。本发明整个加工过程完全可以通过基于半导体材料微制造方法来制作,由于其本身无活动微部件,对流体介质无损伤等特点,使其具有工作可靠、稳定、寿命长等优点。
声明：
“用于芯片实验室的声表面波微流体驱动器及其制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
分享 0
         
举报 0
收藏 0
反对 0
点赞 0
标签：
加工技术
上一个：从氯化铝中提取纯铝的方法
下一个：溶解纤维素的方法

与 “用于芯片实验室的声表面波微流体驱动器及其制造方法” 相关技术

▪ 矿物开采用洗矿设备
▪ 基于遥感技术的地质勘探定位方法及系统
▪ 可防碎屑溅射的金属矿样采取装置
▪ 金属非金属矿山采矿用防塌支持装置
▪ 矿石锡元素的测定方法
▪ 深切割地形条件下锶矿找矿方法及系统
▪ 矿用卡车防高坠安全设备
▪ 用于矿用重载卡车的智能除尘系统及方法
▪ 无人驾驶矿用卡车的快速卸料方法
▪ 矿用掘进机

相关加工设备推荐

阳极板
行星式搅拌机增强搅拌技术创新
行星式搅拌机-陶瓷透水砖搅拌机
离子水阳极
高温真空管式炉
全国热门有色金属技术推荐
江苏矿山技术 徐州矿山技术 江苏选矿技术 江苏通用技术 徐州通用技术 北京矿山技术 北京采矿技术 北京通用技术 福建矿山技术 福建通用技术 江苏冶金技术 江苏火法冶金技术 北京冶金技术 北京火法冶金技术 北京湿法冶金技术 福建冶金技术 江苏材料制备及加工技术 常州材料制备及加工技术 江苏新能源材料技术 江苏加工技术 北京材料制备及加工技术 福建材料制备及加工技术 江苏环境保护技术 南京环境保护技术 苏州环境保护技术 南通环境保护技术 江苏废水处理技术 江苏固/危废处置技术 北京环境保护技术 北京废水处理技术 第十七届东亚资源再生技术国际会议 中冶有色技术平台 有色金属技术网 中冶有色技术网
展开更多 +

 

中冶有色技术平台微信公众号
了解更多信息请您扫码关注官方微信
中冶有色技术平台微信公众号中冶有色技术平台

最新更新技术

▪矿物开采用洗矿设备
▪基于遥感技术的地质勘探定位方法及系统
▪可防碎屑溅射的金属矿样采取装置
▪金属非金属矿山采矿用防塌支持装置
▪矿石锡元素的测定方法
▪深切割地形条件下锶矿找矿方法及系统
▪矿用卡车防高坠安全设备
▪用于矿用重载卡车的智能除尘系统及方法
▪无人驾驶矿用卡车的快速卸料方法
▪矿用掘进机

报名参会
更多+

2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024磷资源高值利用创新发展论坛暨第二届磷酸锰铁锂技术交流会
2024年12月13日 ~ 15日
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024盐湖资源综合利用与绿色发展创新论坛
2024年12月13日 ~ 15日
2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024电子封装与功能复合材料技术交流会
2024年12月20日 ~ 22日
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024低空飞行器与轻量化材料论坛
2024年12月20日 ~ 22日
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025全国碳纤维与复合材料应用技术创新论坛
2025年01月03日 ~ 05日

报告下载

1 锂离子电池正极材料磷酸锰铁锂的
下载:221
2 磷酸(锰)铁锂材料的发展及动力电
下载:123
3 磷酸铁锂材料与电池体系的发展方
下载:116
4 废旧动力电池磷酸铁锂材料再资源
下载:112
5 磷酸铁锂的产业化与回收前景分析
下载:112
6 西藏盐湖锂资源和开发利用
下载:97
7 高倍率磷酸铁锂电池的研究与进展
下载:91
8 高能量密度磷酸铁锂电池的技术路
下载:88
9 磷酸铁锂材料性能改善研究
下载:79
10 回收磷酸铁锂性能的修复及其电池
下载:69
第二届中国微细粒矿物选矿技术大会
推广

热门技术
更多+

1智能耳穴调节装置
2《高强韧微纳米金属陶瓷材料关键技术开发与应用》——邓莹
3铝箔化成反应过程中的数据管理方法
4制备碳/碳复合材料的湿法针刺工艺
5改性生物炭及其制备方法和应用
6粉末冶金材料及其制备技术现状与新动向
7金刚石-碳化硅复合材料、制备方法以及电子设备
8钴酸铜催化电极材料及其在硝酸根还原制氨中的应用
9石英纤维/炭纤维增强炭基复合材料坩埚及其制备方法
10水性环氧树脂分散体及其制备方法
衡水宏运压滤机有限公司
宣传
环磨科技控股（集团）有限公司
宣传

发布

在线客服

公众号

电话

顶部
咨询电话：
010-88793500-807
专利人/作者信息登记