本发明公布了一种质谱和离子迁移谱装置的多波长真空紫外光电离源,具有一腔体,腔体上有进气口和出气口,出气口连接到气泵;腔体内有正、负放电电极,正、负放电电极与高压电源相连接;腔体的一面为真空紫外光输出端口,随充入腔体的稀有气体种类不同,选用氟化锂晶体、氟化镁晶体或毛细管;真空紫外光输出端口连接到光电离质谱或离子迁移谱装置的电离源入射接口。通过调节腔体的压强或更换填充稀有气体种类可以获得多种波长的真空紫外光。多波长真空紫外光产生装置作为质谱和离子迁移谱装置或仪器的电离源,能使得质谱和离子迁移谱具有软电离、谱图简单、可检测无机化合物和有机化合物多等优点。
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