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基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法

895   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:06:25
本发明公开了一种基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法。双面抛光铌酸锂晶片布置在光学支架的透光孔上，至少一对叉指换能器正交排布在晶片四周，PDMS氮气保护壳置于换能器上方，透光孔正下方依次设有汇聚透镜和数字式微棱镜芯片，紫外光源和准直透镜依次倾斜安装在光学支架的侧面。晶片上涂覆光敏液体，启动叉指换能器使声表面驻波场耦合入光敏液体内形成微结构阵列；放置氮气保护壳，输入DMD掩膜版，紫外光经准直透镜后照射在数字式微棱镜芯片进行选择反射，然后依次穿过汇聚透镜、晶片射入光敏液体内，曝光区域的光敏液体固化，得到指定形状的微结构阵列薄膜。本发明实现了紫外光的数字选择，成形区域控制精度高，响应速度快。
声明：
“基于数字光的超声辅助微结构选区成形制造装置及方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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