本发明属于集成光学领域,具体为一种高隔离度的多通道高速电光调制器,其包括衬底,在衬底内包括多个并行的光波导通道;在衬底上表面设置有缓冲层,在缓冲层的表面,对应为每个光波导通道设置有行波电极;其中,光波导通道的输入端连接有输入光纤,光波导通道的输出端连接有输出光纤;靠近光波导通道输入端一侧的行波电极端口作为外部射频信号输入,靠近光波导通道输出端一侧的行波电极端口接有终端负载。本发明不仅实现了单只器件内集成多个调制通道,而且还能解决多通道阵列集成的高速铌酸锂电光调制器通道间的微波隔离度问题。
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