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基于电光效应的单片集成光学加速度计

601   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:03:58
本发明公开了一种基于电光效应的单片集成光学加速度计。包括位于封装外壳内的宽谱光源、模斑转换器、马赫曾德干涉仪结构、光电探测器、上电极、下电极、铌酸锂单晶薄膜层、二氧化硅缓冲层、硅衬底、弹簧振子结构、静电力反馈模块和制冷片，马赫曾德干涉仪结构由1:2型Y波导、2:1型Y波导构成；宽谱光源的光通过模斑转换器耦合进入1:2型Y波导后被分为两束光，两束光经1:2型Y波导的两个分支端进入2:1型Y波导，最后直接耦合进入耦合进入光电探测器中。本发明相比分立器件而言降低了加速度计传感器的体积，集成度高、精度高、抗电磁干扰、能在恶劣环境下工作、制备工艺简单、易于封装。
声明：
“基于电光效应的单片集成光学加速度计” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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