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基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法

596   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:02:36
本发明提供了一种基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法。在基体上预先刻蚀出呈对称排布的空腔矩阵；在所述空腔矩阵内通过沉积二氧化硅，并涂覆铌酸锂晶体薄膜，构成布拉格反射层；在所述布拉格反射层上方设置呈盖状的底电极，覆盖每个空腔，并在所述底电极上设置有与所述底电极材质相同的支撑柱；在相邻的底电极之间进行氧化锌直流磁控溅射，构成氧化锌层；其中，所述氧化锌层的填充高度不超过所述盖状的底电极的上盖面；在所述氧化锌层上进行制备介电层；其中，所述介电层通过氮化铝沉积填充构成；在所述介电层上通过直流磁控溅射镀膜的方式构成厚膜层，并在所述厚膜层上进行光刻和蚀刻，构成顶电极。
声明：
“基于带宽增强型FBAR滤波器的制造方法” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
我是此专利(论文)的发明人(作者)
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