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成膜装置、成膜方法和有机EL元件

983   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-19 00:02:32
本发明提供一种成膜装置。其防止形成电子注入层的有机EL元件的金属层的劣化。成膜装置PM1具有:处理容器(100),其于内部在基板上实施所需的处理;蒸镀源(200)(第一蒸镀源),其收纳有机材料,将被收纳的有机材料加热并使其气化;第一喷出机构(120a)～(120f),其内置于处理容器(100)并与蒸镀源(200)连结,将在蒸镀源(200)被气化的有机材料排向处理容器内的基板G;气化器(300)(第二蒸镀源),其收纳锂等碱金属材料,将被收纳的碱金属材料加热并使其气化;第二喷出机构(130),其内置于处理容器(100)并与气化器(300)连结,将在气化器(300)被气化的碱金属材料排向处理容器内的基板G。
声明：
“成膜装置、成膜方法和有机EL元件” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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