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荫罩的制造方法、荫罩的制造装置及其所用的清洗装置

828   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:59:38
根据本发明的清洗装置具有:清洗部(121),具有气穴喷射装置,在保持基本水平的状态,在沿纵向输送的带状金属薄板的上面及下面,喷出对该带状金属薄板是惰性的清洗液,在上述金属薄板的表面附近发生气穴,进行急速的清洗;第1防漏密封部(124),设置在所述清洗部的前段,制约该金属薄板的位置,而且防止所述清洗液在与该金属薄板输送方向相反方向漏出。采用这样的清洗装置进行腐蚀后的清洗,由此可以急速地稀释除去残留于光刻胶膜檐部内侧的腐蚀液,因而可以防止开孔尺寸、形状的偏差。
声明：
“荫罩的制造方法、荫罩的制造装置及其所用的清洗装置” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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