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可无线访问的声表面波力敏传感器

580   编辑：管理员   来源：中冶有色技术网  
2023-03-18 23:58:03
一种可无线访问的声表面波力敏传感器，在压电基片上利用声表面波延迟线制作，主要用于将其用来测量特殊场所的力学量，如压力、加速度等。属于声表面波技术应用领域。采用钽酸锂LiTaO3单晶材料，叉指换能器(Interdigital Transducer缩写IDT)和反射器的布局采用了并联式结构，3个声波传播通道，采用不同大小的反射器声孔径。传感器的灵敏度为298°/N。本发明的有益效果；可无线访问的声表面波力敏传感器可以使传感器无源化并进行无线测量。由于无线测量系统以电磁波作能量激励传感器，获得测量信息，故该传感器可以方便地用于旋转部件的应力、扭矩等检测，及其他普通传感器所无法应用的特殊领域。
声明：
“可无线访问的声表面波力敏传感器” 该技术专利(论文)所有权利归属于技术(论文)所有人。仅供学习研究，如用于商业用途，请联系该技术所有人。
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