一种含HF酸尾气处理装置,包括六氟磷酸锂合成尾气管、冷凝器、氟化氢接收罐、反应器、分离罐以及回收罐,所述六氟磷酸锂合成尾气管与冷凝器气体进口连接,冷凝器的冷凝液出口与氟化氢接收罐连接,冷凝器气体出口与反应器进口连接,反应器内预置有SiO
2粉末,反应器出口与分离罐连接,分离罐内预置有乙醚,分离罐出口与回收罐连接。本实用新型先将HF转变为SiF
4,再通过乙醚使HCl和SiF
4的分离,省去了传统的洗涤塔等洗涤设备,工序简单,HCl和HF分离彻底,且SiF
4和HCl均可回收利用,真正实现尾气零排放,并且,SiF
4转变为氟硅酸,有利于提高氟资源的综合利用率,经济效益高。
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